2024年5月16日至18日，備受矚目的光電子信息產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新大會在武漢中國光谷科技會展中心盛大舉行。本次大會以“光聯(lián)萬物，智引未來”為主題，匯聚了眾多知名企業(yè)和行業(yè)大咖，共同探討光電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢與創(chuàng)新方向。
在眾多參展企業(yè)中，我司與華科團隊共同打造的系列高性能精密主動減振系統(tǒng)精彩亮相，成為與會者關(guān)注的焦點。精密主動減振系統(tǒng)，具備優(yōu)秀的隔振、減振、抗沖擊功能，適用于半導體制造、科學儀器、精密加工、生命科學、航天航空航海等各領域，尤其在晶圓生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)發(fā)揮關(guān)鍵作用，能夠提供高性能地基隔振，并快速整定臺面在檢測與測量時運動沖擊帶來的波動，極大地提升晶圓生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。目前，公司最新減振系統(tǒng)產(chǎn)品可以滿足X納米級光刻設備運行要求。
此次參展的有高性能鋼彈簧、氣浮彈簧、磁浮彈簧等4個系列20余款產(chǎn)品，可以滿足不同應用場景的減隔振需求，展示了公司在減振技術(shù)領域的強大實力。
該技術(shù)成果源自華中科技大學陳學東院士團隊20余年的深入鉆研，先后獲得國家科技進步二等獎等多項榮譽。公司已與陳學東院士團隊達成全面合作，受讓全部知識產(chǎn)權(quán)成果，與院士團隊一道推動主動減振技術(shù)實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。
新產(chǎn)品的推出將進一步夯實公司多賽道發(fā)展的基石。公司將構(gòu)建從核心元器件、動力仿真軟件算法到精密運動控制整體解決方案的完整產(chǎn)業(yè)鏈，改變我國高端制造裝備對主動減振系統(tǒng)依賴進口的現(xiàn)狀，同時，也為我國光電子產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展注入新活力。
